风淋室应用微电子实验室,风淋室应用与复旦大学微电子学院实验室

    在微电子学院领导的支持下，微电子学院的周鹏副教授、工艺实验室的徐赛生工程师作了充分的前期准备，特地为同学们准备了防护服和手套口罩等装备。2013级班导师的陈赟老师和腾飞计科5班的辅导员曹佩奇全程带领参观。

24日下午一点半，同学们来到位于复旦大学邯郸校区本部的微电子楼，在陈赟老师的带领下，进入微电子实验室的参观。进入实验室前，本科一年级的同学第一次戴上帽子和口罩，穿上防护服，戴上手套，套上鞋套，穿过风淋室，进入了千级的实验室参观，还在环境扫描电子显微镜下看到了碳纳米管的样子。第一次穿上防尘服的同学们感到非常的新奇有趣，立刻激发起对于微电子学科的好奇心，大家表现出了高涨的热情，迫不及待要亲自操作实验仪器。

随后，同学们分两批进入实验室，实验室的负责老师为大家介绍了实验室的基本情况，实验室拥有主体千级、部分区域百级、总洁净面积达到约800平米的洁净室，放置了先进的集束系统（集成了PVD/ALD/RTP/XPS等）、铜互连先进扩散阻挡层淀积和分析系统、纳米管和石墨烯淀积设备、反应离子刻蚀、微波退火系统等关键设备，成为了02国家重大专项“22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设”项目中“互连子平台”建设的重要组成部分。同时洁净室还放置了高端电子束曝光设备JEOL 6300 FS和ICP刻蚀等关键设备。近年来实验室负责承担和完成了包括国家“02重大专项”、“863”计划及国家自然科学基金等项目在内的各类项目共计近50项。目前为止，实验室已出版中英文专著6部，并在国际顶级专业期刊上发表论文近300余篇，申请专利150多项。此外，实验室积极开展国内外学术交流与合作，并与国内多家集成电路制造公司的领头企业，如中芯国际、华虹NEC等，建立了长期深入的合作关系。实验室非常欢迎优秀的本科生进入实验室先期了解科学研究的最新动态。

同学们也第一次近距离地接触实验仪器设备，直观地了解实验过程。当时正有研究生进行实验，同学们有幸直接观看电子束曝光的现场。老师们还非常热心地指着实验室的通气管道考考大家对半导体工艺认识多少，同学们也积极向老师提问。参观结束后，陈赟老师还为大家准备了精美的集成电路介绍短片，让大家对于集成电路工艺和设计以及相关产业有了更加全面和深入的了解。

15点45分，我们的参观活动告一段落，同学们在活动中都表现出了极大的热情和浓厚的兴趣，也增强了学生们对微电子学科的兴趣，为大家提供了走进实验室感受科研氛围的机会，也为同学们日后确定个人的发展方向提供了信息和导向。

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